繼韓國本土生產氖氣后，本土氖氣使用量已達40%

 

在SK海力士成為第一家成功在國內生產氖氣的韓國公司后，它宣布已將工藝引進比例提高到 40%。由此，SK海力士即使在不穩定的國際形勢下也能獲得穩定的氖氣供應，并能大幅降低采購成本。SK海力士計劃到 2024 年將氖氣生產比例提高到100%。

 

到目前為止，韓國半導體公司的氖氣供應完全依賴進口。近幾年，海外主要產區國際局勢不穩，氖氣價格有大幅上漲跡象，與TEMC、POSCO合作，想辦法在國內生產氖氣。為了提取空氣中稀薄的氖氣，需要大型的ASU裝置（Air Separate Unit），初期投資成本高。但是，TEMC和POSCO同意SK海力士在國內生產氖氣的愿望，加入該公司并開發了一種利用現有設備以低成本生產氖氣的技術。因此，SK海力士今年年初通過對國產氖氣的評估和驗證，成功實現了國產化。在 POSCO 生產后，這種韓國氖氣在經過 TEMC 處理后以最高優先級供應給SK海力士。

 

氖是半導體曝光過程中使用的準分子激光氣體的主要材料。準分子激光氣體產生準分子激光，準分子激光是波長很短的紫外光，準分子激光用于在晶圓上雕刻精細電路。雖然準分子激光氣體成分中95%是氖，但氖是一種稀缺資源，在空氣中的含量僅為0.00182%。SK海力士今年4月在韓國首次將國產氖用于半導體曝光工藝，用國產氖替代了總使用量的40%。到2024年，氖氣全部更換為國產。

 

此外，SK海力士將在明年6月之前在國內生產用于蝕刻工藝的氪氣（Kr）/氙氣（Xe），以最大限度地降低原材料供需風險，并可持續地供應先進半導體技術發展所需的資源。

 

SK 海力士 FAB 原材料采購副總裁 Yoon Hong-sung 表示：“這是通過與國內合作伙伴公司的合作，為穩定供需做出重大貢獻的一個例子，即使是在國際形勢不穩定導致供應不穩定的情況下。”合作，我們計劃加強半導體原材料供應網絡。